中国机械工业集团公司所属沈阳仪表院“高性能硅电容差压传感器”项目日前顺利通过验收。该项目是沈阳仪表院承担的2007年度企业技术创新计划项目。该项目开发了一种适用于智能工业变送器用硅电容差压传感器的设计和工艺技术，在硅电容核心结构设计、电容封装工艺及传感器封装结构方面有创新，有效地解决了硅电容传感器研制的工艺装备难题。该项目完成后，将实现年产10万只传感器芯片，1.5万台传感器的生产能力，年产值达1000万元，产品可广泛应用于航空、航天、石油化工、能源电力、冶金、机械、电子、环保等各个领域。