文章来源:中国兵器装备集团公司 发布时间:2006-06-26
兵器装备集团研发具国内先进水平溅射镀膜靶材
近日,中国兵器装备集团公司自主研制的溅射镀膜靶材通过省级鉴定,技术性能达到国内先进水平。溅射镀膜靶材主要应用于溅射镀膜机台,属于高档耗材。溅射镀膜靶材的生产利用光学镀膜技术对粘结面金属化将二者粘结而成,实现了靶材与背板的良好粘结效果,产品设计有别于其他光学薄膜材料,从材料的选用,到加工工艺设计,都高于一般的光学材料技术标准。
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